产品简介
产品简介VTC-100PAH真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAH真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机，采用了优良
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VTC-100PAH真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAH真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机，采用了优良的设计理念，配合精密的运动控制系统，可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。设备腔体采用聚丙烯材质，具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空，工作时利用真空吸盘及气路管线与外部真空泵相连，能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上，此方式操作简便、样件取放自如，吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机，噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单，电机启动快速稳定，加速后运行平稳，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAH真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便，体积小巧等优点，主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。
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