产品简介
6″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S是一款炉管内径为6″的真空管式炉，可以在不同气氛下，在Z大5″的基片上生长多种薄膜。产品型号 6″单温区C
6″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S是一款炉管内径为6″的真空管式炉，可以在不同气氛下，在Z大5″的基片上生长多种薄膜。
产品型号 | 6″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S | ||
主要特点 | 1、双层壳体，配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能。壳体温度<70℃。 2、采用不锈钢真空密封法兰，使用双硅胶密封圈进行密封。 3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。 4、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。 5、已通过CE认证。 | ||
技术参数 | 1、电源：AC 220V 8KW 2、石英管：内径Φ152mm，长1016mm 3、加热元件：Ni-Cr-Al电阻丝 4、加热区域：600mm 5、恒温区域：200mm 6、工作温度：zui高1100℃，连续工作400℃-1000℃ 7、zui大升降温速率：10℃/min 8、热电偶：双K型 9、控温精度：±1℃ 10、真空度：10-2torr（机械泵），10-5torr（分子泵） 11、铠装热偶检测口：1个 12、真空接口：KF40 | ||
产品规格 | 尺寸：1000mm×680mm×920mm；重量：250kg | ||
标准配件 | 1 | 石英管 | 1根 |
2 | 氧化铝管堵 | 2个 | |
可选配件 | 1、软件接口模块和PC机 2、石英管 3、石英管堵 4、K型热电偶（Φ6.35mm×915mm，用于对炉膛温度校准） 5、真空泵 | ||
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